EUVリソグラフィを補完する自己組織化リソグラフィ

DSAリソグラフィと光リソグラフィで30nmピッチの平行配線パターンを形成したときの、パターン形状の比較。DSAリソグラフィはパターン形状のばらつきが小さい。出典：Intel（クリックで拡大）