EUVリソグラフィを補完する自己組織化リソグラフィ DSAリソグラフィ(自己組織化リソグラフィ)がEUVリソグラフィを補完することで、EUVリソグラフィの性能を最大化する。出典:Intel(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan