64個のCISを同時測定、アドバンテストの最新テスト装置 「V93000 EXA Scale」は、7nm以降のプロセスを適用するデバイスの開発/テストをターゲットとする 出典:アドバンテスト(クリックで拡大) 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan