多層配線の性能を向上させるエアギャップと2次元材料

グラフェンを銅配線のキャップ層に導入。左は配線構造の模式図。中央は配線のキャップ層付近の断面を電子顕微鏡で観察した画像。右はグラフェンの有無による抵抗値の変化。グラフェンのキャップ層によって抵抗を約15％減らせた。出典：Intel（クリックで拡大）