TSMCとSamsungのEUV争奪戦の行方 〜“逆転劇”はあり得るか？

図15：1nmまでのロジック半導体のスケーリング 出典：Myung Hee Na, imec, “Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials”, IEDM2020 Tutorials 5（クリックで拡大）

図15：1nmまでのロジック半導体のスケーリング 出典：Myung Hee Na, imec, “Innovative technology elements to enable CMOS scaling in 3nm and beyond - device architectures, parasitics and materials”, IEDM2020 Tutorials 5（クリックで拡大）