TSMCとSamsungのEUV争奪戦の行方 〜“逆転劇”はあり得るか? 図3:半導体メーカー各社のEUV累計保有台数(各社の計画および筆者予測) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan