TSMCとSamsungのEUV争奪戦の行方 〜“逆転劇”はあり得るか? 図2:ASMLにおけるEUV露光装置の出荷台数と受注残 出典:WikiChip Fuse、ASMLの決算報告書および、一部筆者の予測を基に作成(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan