多層配線のアスペクト比（AR）と抵抗および容量の関係

アスペクト比（AR）を変化させたときの抵抗と容量の関係。ARの上昇は抵抗と容量の低減をもたらす。しかし配線の製造は難しくなる。出典：Intel（クリックで拡大）