多層配線のアスペクト比を定義する

多層配線の断面構造とアスペクト比(AR:Aspect Ratio)の定義。大別すると3種類の定義が存在する。出典:Intel(クリックで拡大)

多層配線の断面構造とアスペクト比(AR:Aspect Ratio)の定義。大別すると3種類の定義が存在する。出典:Intel(クリックで拡大)