銅配線の微細化限界を拡張するサブトラクティブ技術

サブトラクティブ技術で形成した銅配線の断面構造（左）と微細化による配線抵抗の増大（右）。サブトラクティブ技術で形成した銅配線は、ダマシン技術よりも抵抗が低い。出典：Intel（クリックで拡大）