銅配線の微細化限界を左右するダマシン技術 ダマシン(damascene)技術による配線パターン形成工程(上)とサブトラクティブ(subtractive)技術による配線パターン形成工程(下)。出典:Intel(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan