多層配線の微細化と性能向上を両立させる要素技術

多層配線の性能を向上させる要素技術の例。左は10nmノードの大規模高性能ロジック用多層配線構造の断面を電子顕微鏡で観察した画像。中央は配線技術の方向性。右は要素技術の具体例。出典：Intel（クリックで拡大）