Samsung会長逝去、浮かび上がった半導体業界“3偉人”の意外な共通点 図10:半導体メーカー各社のEUV累計保有台数(各社の計画および筆者予測) (クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan