銅（Cu）配線の微細化と抵抗値の増大

銅（Cu）配線の断面積（Cu部分）を縮小することによる抵抗値（配線長当たり）の上昇。断面積を小さくしていくと、あるところから抵抗値の上昇率が増加する。出典：Intel（クリックで拡大）