実装設備間の次世代通信規格「SEMI SMT-ELS」（後編）

JARAS1014/ELS規格とSMEMA規格、ベンダー1社の設備間通信規格の比較。出典：日本ロボット工業会（JARA）（注：この図面は実装技術ロードマップには掲載されていない）（クリックで拡大）