Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置

図11：Lamの絶縁膜ドライエッチング装置を使うメリット 出典：1〜5は、野尻一男、“Electronic Journal 90th Technical Symposium, p89 （2004）のデータによる。また、6のデータは筆者の調査による（クリックで拡大）