Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置

図10：Lamが開発した絶縁膜エッチングのシーケンス 出典：野尻一男、“Electronic Journal 90th Technical Symposium, p89“（2004）を参考にして筆者がシーケンスを作成（クリックで拡大）