Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置 図9:Lamが開発した絶縁膜エッチング装置 出典:野尻一男、『はじめての半導体ドライエッチング技術−改訂版』(技術評論社、2020年10月24日出版)の図4−4を基に筆者作成(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan