Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置 図8:従来装置のよる絶縁膜エッチングのシーケンス(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan