Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置

図3：Lam Researchが開発したドライエッチング装置のプラットフォーム 出典：Lam Researchが公開したSense.iの動画を基に筆者作成（クリックで拡大）