Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置

図2：種類別半導体の四半期ごとの出荷額（〜2020年Q2） 出典：WSTSのデータを基に筆者作成（クリックで拡大）