Lam Researchが打ち立てた金字塔、“1年間メンテナンスフリー”のドライエッチング装置 図1:ドライエッチング装置の企業別シェアと出荷額 出典:野村証券のデータを基に筆者作成(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan