プロセスの最適化を加速する仮想製作プラットフォーム 図6:重要なパラメーター特定のためにあらゆる計測法での解析を可能にし、図の上段中央の例のように、めったに発生しないケースの特定も可能にする 記事に戻る Joseph Ervin(Lam Research),EE Times Asia