プロセスの最適化を加速する仮想製作プラットフォーム

図4：【左】形状変化の影響について、名目上のモデルが調査される／【右】SEMulator3Dを使用した実験は、酸化膜厚、シリコン膜厚の感度を示し、Vtsat感度は同じ範囲内で増加する一方で20nmを超えたCDは減少変化する