プロセスの最適化を加速する仮想製作プラットフォーム 図3:3D構造でデバイスのポートと電極を特定しTCADなどのデバイス特性について、TCAD モデリングを実行することなくシミュレーションできる 記事に戻る Joseph Ervin(Lam Research),EE Times Asia