プロセスの最適化を加速する仮想製作プラットフォーム 図1:モデルが設定されるとキャパシターコンタクトが示される。この時点で電気的解析が行われ、キャパシターのエッジ効果を解析する 記事に戻る Joseph Ervin(Lam Research),EE Times Asia