EUVスキャナー、出荷は堅調だが稼働率の課題も

左＝ASMLの売上高（用途別）の推移／右＝2020年Q1およびQ2の用途別売上高。Q2はメモリ向けが成長した 出典：ASMLジャパン（クリックで拡大）