EUVスキャナー、出荷は堅調だが稼働率の課題も

EUVスキャナーの累計出荷台数（水色の棒グラフ）と稼働率（緑／青／オレンジの線グラフ）。緑は、稼働率が高い上位10％の装置の平均稼働率。オレンジは下位10％の平均稼働率である。上位と下位では、稼働率に大きなギャップがあることが分かる 出典：ASMLジャパン（クリックで拡大）