1nmが見えてきたスケーリング　「VLSI 2020」リポート

図6：CMOS構造の変化、FinFET→NanoSheet→ForkSheet→CFET 出典：Sujith Subramanian, imec, “First Monolithic Integration of 3D Complementary FET (CFET) on 300mm Wafers”, VLSI 2020, TH3.1（クリックで拡大）