1nmが見えてきたスケーリング 「VLSI 2020」リポート 図5:1nmまでのロードマップ 出典:Myung Hee Na, imec, “CMOS and Beyond CMOS Technologies for Edge Intelligence”, VLSI 2020, FF5(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan