1nmが見えてきたスケーリング 「VLSI 2020」リポート 図2：53のオンデマンド・セッション 出典：VLSIシンポジウムの記者会見資料（クリックで拡大） 記事に戻る 湯之上隆（微細加工研究所），EE Times Japan
