1nmが見えてきたスケーリング 「VLSI 2020」リポート 図14:DRAMのスケーリング 出典:Gwan-Hyeob Koh, Samsung Electronics, “Challenges and Prospects of Memory Scaling”, VLSI 2020, SC1.3(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan