1nmが見えてきたスケーリング 「VLSI 2020」リポート 図12:1nmノードのメタル配線 出典:Victor Moroz, Synopsys, “Can We Ever Get to a 100nm Tall Library? Power Rail Design for 1nm Technology Node”, VLSI 2020, JFS3.2(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan