FinFETやGAAにも適用可能なエアスペーサー形成技術 CEA-Letiが披露した7層構造のナノシートGAAトランジスタの電子顕微鏡写真 画像:CEA-Leti(クリックで拡大) 記事に戻る Nitin Dahad,EE Times