東京工大、極薄ウエハーのレーザー加工技術を開発

ダイシングストリート幅。左は概略図、右はDBGとSDBGの比較 (クリックで拡大) 出典:東京工業大学

ダイシングストリート幅。左は概略図、右はDBGとSDBGの比較 (クリックで拡大) 出典:東京工業大学