東京工大、極薄ウエハーのレーザー加工技術を開発 左上はTEGウエハー、左下は配線構造、中央は配線の拡大図、右は配線の断面構造図 (クリックで拡大) 出典:東京工業大学 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan