東北大学ら、GaN単結晶基板の新たな量産法を開発

2種類のGaN種結晶上にLPAAT法を用いて作製した直径2インチGaN単結晶基板の外観と結晶構造特性および、フォトルミネッセンススペクトル (クリックで拡大) 出典:東北大学

2種類のGaN種結晶上にLPAAT法を用いて作製した直径2インチGaN単結晶基板の外観と結晶構造特性および、フォトルミネッセンススペクトル (クリックで拡大) 出典:東北大学