3D NANDの最新動向、覇権争いの鍵となる技術は? バーチャル開催の「IMW2020」から 図8:IMW2020の採択論文の内訳(筆者の分類) 出典:IMW2018、IMW2019、IMW2020の論文集より筆者作成(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan