3D NANDの最新動向、覇権争いの鍵となる技術は？ バーチャル開催の「IMW2020」から

図14：チャージ・トラップ方式の代表的な3次元NAND構造 出典：Tomohiko Kitajima, Applied Materials, “Materials and process technology driven 3D NAND Scaling beyond 200 pairs ”, IMW2020, Tutorials PART 1.（クリックで拡大）