3D NANDの最新動向、覇権争いの鍵となる技術は? バーチャル開催の「IMW2020」から (再掲)図12:メモリメーカー各社の最新の3次元NANDの比較 出典:Tomohiko Kitajima, Applied Materials, “Materials and process technology driven 3D NAND Scaling beyond 200 pairs ”, IMW2020, Tutorials PART 1.(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan