「VLSIシンポジウム2020」は初のオンライン開催に 左=5nm以降の最先端CMOS用埋め込み型配線技術/右=7層ナノシートトランジスタ 出典:VLSIシンポジウム委員会(クリックで拡大) 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan