東京大ら、極端紫外光を集め微細加工に成功 PMMA薄膜(左)と金属ナノ粒子レジスト薄膜(右)における表面加工レートと照射強度の関係 (クリックで拡大) 出典:東京大学 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan