代表的なMEMSセンサーとその応用(後編) ゲルで封止することによって高い防水性能を備えたMEMS圧力センサーの断面構造。STMicroelectronicsが開発した「LPS33W」。出典:同社の製品データシート。なおこの図面は実装技術ロードマップには掲載されていない(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan