代表的なMEMSセンサーとその応用（前編）

航空機や人工衛星、船舶などの姿勢制御に向けた小型の3軸ジャイロセンサーユニット「RMU30」（左。右は従来品の「DMU30」）。大きさは5cm角（体積ではDMU30の45％）。Silicon Sensing Systems（住友精密工業とCollins Aerospaceの合弁企業）が2019年に開発した。出典：住友精密工業の2019年11月19日付ニュースリリース。なお、この図面は実装技術ロードマップには掲載されていない（クリックで拡大）