次世代メモリの本格量産を可能にする新PVD装置 MRAM専用のPVD装置「Endura Clover」とPCRAM/ReRAM製造向けPVD装置「Endura Impulse」の概要 (クリックで拡大) 出典:アプライド マテリアルズ 記事に戻る 馬本隆綱,EE Times Japan