メモリ不況でも強気なMicron、200層3D NANDも視野に 左=「Experience Zone」の様子。右=工場内で稼働するロボットの動きを再現するコーナーも設けられている。1台のロボットが製造装置20台分のウエハーを運ぶという(クリックで拡大) 記事に戻る 村尾麻悠子,EE Times Japan