日韓経済戦争の泥沼化、短期間でフッ化水素は代替できない

図1　東北大学の大見グループのウルトラクリーンテクノロジー 出典：小川洋輝・堀池靖浩著『はじめての半導体洗浄技術』（工業調査会、2002年3月10日出版）、147〜148ページ（クリックで拡大）