半導体業界のトレンドは「3次元化」が明確に　VLSI 2019

図8　半導体の技術トレンド：3D Devicesから3D Architectures 出典：R. Clark, TEL, “Advanced Process Technologies Required for Future Scaling and Devices”, Short Course1, VLSI2019より引用（クリックで拡大）