半導体業界のトレンドは「3次元化」が明確に VLSI 2019 図1 VLSIのテクニカルセッションとショートコースの参加者数 出典:VLSI symposium事務局が配布した資料(クリックで拡大) 記事に戻る 湯之上隆(微細加工研究所),EE Times Japan