3D NANDの高密度化を支えるペア薄膜のスケーリング手法 ペア薄膜(制御ゲート薄膜と絶縁膜のペア)のペア数増加と課題 出典:Applied Materials(クリックで拡大) 記事に戻る 福田昭,EE Times Japan